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    泰州噴鍍工藝-寶來利真空機電-丹陽真空鍍膜機

  • 作者:丹陽市寶來利真空機電有限公司 2018-01-17 13:22 2610
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    真空鍍膜機濺鍍的原理是什么

    濺鍍,一般指的是磁控濺鍍,歸于高速低溫濺鍍法.

    該技能請求真空度在1×10-3Torr擺布,即1.3×10-3Pa的真空狀況充入慵懶氣體氬氣(Ar),并在塑膠基材(陽極)和金屬靶材(陰極)之間加上高壓直流電,因為輝光放電(glow discharge)發生的電子激起慵懶氣體,發生等離子體,等離子體將金屬靶材的原子轟出,堆積在塑膠基材上.

    真空鍍膜機濺鍍的原理是什么

    以幾十電子伏特或更高動能的荷電粒子炮擊資料外表,使其濺射出進入氣相,可用來刻蝕和鍍膜。入射一個離子所濺射出的原子個數稱為濺射產額(Yield)產額越高濺射速度越快,以Cu,Au,Ag等較高,Ti,Mo,Ta,W等較低。一般在0.1-10原子/離子。離子能夠直流輝光放電(glow discharge)發生,在10-1—10 Pa真空度,在兩較間加高壓發生放電,正離子會炮擊負電之靶材而濺射也靶材,而鍍至被鍍物上。

    正常輝光放電(glow discharge)的電流密度與陰極物質與形狀、氣體品種壓力等有關。濺鍍時應盡也許保持其安穩。任何資料皆可濺射鍍膜,即便高熔點資料也簡單濺鍍,但對非導體靶材須以射頻(RF)或脈沖(pulse)濺射;且因導電性較差,濺鍍功率及速度較低。金屬濺鍍功率可達10W/cm2,非金屬<5W/cm2

    二較濺鍍射:靶材為陰極,被鍍工件及工件架為陽極,氣體(氬氣Ar)壓力約幾Pa或更高方可得較高鍍率。

    磁控濺射:在陰極靶外表構成一正交電磁場,在此區電子密度高,進而進步離子密度,使得濺鍍率進步(一個數量級),濺射速度可達0.1—1 um/min膜層附著力較蒸鍍佳,是現在較有用的鍍膜技能之一。

    其它有偏壓濺射、反應濺射、離子束濺射等鍍膜技能


    3.裝飾膜的鍍制工藝
    金屬件裝飾膜鍍制工藝:比較成熟的鍍膜技術有電弧離子鍍、磁控濺射離子鍍和復合離子鍍。
    塑料件裝飾膜鍍制工藝:采用PVD技術可在玻璃、陶瓷、塑料、水晶、木材、紙張等非金屬工件上鍍制金屬膜及氮化膜、氧化膜。此處重點介紹塑料制品裝飾膜的鍍制技術,塑料制品鍍金屬膜的工藝也稱塑料金屬化。塑料制品裝飾膜的PVD技術有兩種:真空蒸發鍍和磁控濺射鍍。 

    鍍膜技術在裝飾品方面的應用
    隨著經濟的發展和生活水平的提高,人們喜歡將手表殼、表帶、服飾、燈飾、眼鏡架、室內外裝飾件、五金箱包、手機殼、手機視屏、衛生潔具、食品包裝等裝飾品精飾得五彩繽紛。
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