當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，以達到降解污染物的目的。
低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量高能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變為無毒無害或低毒低害物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在1eV～10eV，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。其能量傳遞過程為：
電場+電子      高能電子
                            受激電子
高能電子+分子（或原子）     受激分子   活性基因
                            自由基
活性基因+分子（或原子）      生成物+熱
活性基因+活性基因      生成物+熱
在本項目治理貴公司印刷廢氣，在介質阻擋放電（DBD）的低溫等離子體發生器中，這些廢氣因子的苯環被高能電子轟擊后首先被打開成碎片。
而尾氣中氧氣和水氣在高能電子作用下發生下列反應
O2 ＋ e          O?＋ O3 + O2-
H2O + e          HO?＋ H
廢氣因子解離的碎片粒子與氧氣及O?＋ O3 + O2-發生較為復雜的化學反應，降解為CO2和H2O等。
低溫等離子技術，屬于干法處理，不需要任何吸附劑、催化劑及其他任何助燃燃料，只需采用220V或380v交流電，經振蕩升壓裝置獲得高頻脈沖電場，產生高能量電子，轟擊分解廢氣中的有機分子、有毒的氣體分子。具有安全可靠、操作簡單、運行費用低、治理效率高、技術先進等特點。