產品介紹:AWM40000系列氣體質量流量傳感器包括不帶放大和放大信號處理的信號。AWM42150V 和AWM42300,使用和AWM2000氣體質量流量傳感器
相同的電路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000氣體質量流量傳感器相同的電路。AWM43600V氣體質量流量傳感器為6SLPM 器件。
技術信息:AWM43300V氣體質量流量傳感器特點:
●多個集中安裝/O 形密封圈
●陶瓷流量管(無引氣管),0-1000sccm
●塑料流量管(無引氣管),0-6SLPM
●高共模壓力(150psi)
●工作溫度可至125?C
● 零點和滿量程高穩定性
圖2 WM43300V氣體質量流量傳感器傳感橋路供電電路
AWM40000系列氣體質量流量傳感器選型指南:
AWM42150VH
AWM42300V
AWM43300V
AWM43600V
流量范圍(滿量程)
±25sccm
±1000sccm
+1000sccm
+6LPM
輸出電壓@標定點
8.5±1.5mV @25sccm
54.7±3.7mVDC @1000sccm
5±0.15VDC @1000sccm
5±0.15VDC @6LPM
零點電壓
0.0±1.0 mV DC
0.0±1.0 mV DC
1.00±0.05VDC
1.00±0.05VDC
零點漂移+25~-25?C +25~85?C
±0.20mV DC
±0.20mV DC
±0.025VDC
±0.025VDC
輸出電壓漂移+25~-25?C +25~+85?C
+2.5% 讀數(典型值) -2.5% 讀數(典型值)
±2.5% 讀數(最大值) +6% 讀數(最大值)
-5% 讀數(最大值) +6%讀數(最大值)
-5% 讀數(最大值) +6% 讀數(最大值)
重復性&遲滯
±0.35% 讀數
±1.00% 讀數
±0.5% 讀數
±1.00% 讀數
壓降@ 滿量程(in H2O)
1.50(典型值)
1.02(典型值)
8.00(典型值)
Min Typ. Max.
電源(VDC)
8.0 10±0.01 15 (2)
功耗(mW)
50 60
反應時間(ms)
1.0 3.0 (1)
共模壓力(psi)
150
輸出負載
NPN(電流沉):10mA PNP(電流源):20mA
標定氣體
氮氣(AWM42150VH 為氫氣)
比率變化量
±0.3% 讀數
工作溫度
-25~85C
儲存溫度(?C)
-40~90C
沖擊
100g 峰值(5drops,6axis)
注:1、從10%~90% 反應時間一般1 毫秒
2、輸出電壓隨電源電壓而比率變化
3、重復性和遲滯反應了測量設備的內在精度
4、最大的防止損壞的流量變化量:5LPM/1.0sec
WM43300V氣體質量流量傳感器安裝尺寸(僅供參考):
重復性 : 0.5(%F.S.) ;
遲滯 : 0.5(%F.S.) ;
線性度 : 3.0(%F.S.) ;
輸出信號 : 模擬型 ;
制作工藝 : 集成 ;
材料物理性質 : 半導體 ;
材料 : 硅 ;
種類 : 流量 ;
型號 : AWM43300V ;
品牌 : HONEYWELL/霍尼韋爾 ;
加工定制 : 否 ;