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    ③低溫捕集:在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子,被不斷增長的可冷凝氣體層埋葬和吸附。
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    因此,低溫泵需要通過吸附材料來幫助其抽除氣體。另外,吸附材料在低溫下比無吸附材料的泠凝吸附可以得到更低的平衡壓力。低溫泵的工作方式是通過表面吸附而進行的,表面積越大對低溫泵的工作性能越有利。因此,合適的吸附材料必須具有較大的比表面和吸附容量。對吸附材料進行表征的物理量主要有:幾何形狀和顆粒大小分布;表面結(jié)構(gòu);密度;比表面積;孔徑分布、孔容和平均孔徑大小等。研究低溫泵的吸附材料主要是通過以上參數(shù)的表征而進行的。
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    活性炭在低溫下對氦、氖和氫有很強的吸附能力。冷板由無氧銅制成,表面拋光達到鏡面程度,以減小輻射系數(shù)。泵的極限壓力為帕,工作壓力范圍為帕,要求預抽壓力為1帕。制成的產(chǎn)品抽氣速率已達60000升/秒。此外,尚可根據(jù)工藝的特點把抽氣冷板安排在被抽容器內(nèi),其抽氣速率可達到106升/秒以上。
    能在低溫兩百度長期使用。 FCM低溫泵組件包括2個錐形密封圈,2個硅膠O型圈 ,3個開口不銹鋼環(huán),2個小活塞環(huán),1個大活塞環(huán),2個小導向環(huán) ,1個大導向環(huán)。

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