上海茂竺的特氣設(shè)備有特氣柜(Gas Cabinet或稱鋼瓶柜、氣瓶柜)，氣體流量控制箱(Gas Box by MFC),閥門箱（VMB）,閥門盤（VMP），氣體偵測(cè)器（Gas Detector），廢氣處理器(Scrubber)以及化學(xué)品供應(yīng)機(jī)臺(tái)（CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX）。
上海茂竺公司還提供特氣設(shè)備的安裝服務(wù)、特氣系統(tǒng)的二次配管及化學(xué)品供應(yīng)機(jī)臺(tái)的安裝、化學(xué)品供應(yīng)管道的配管等高潔凈要求的業(yè)務(wù)。
從日本、歐美等發(fā)達(dá)國(guó)家進(jìn)口的電子級(jí)材料，如EP級(jí) （BA級(jí)、AP級(jí)）不銹鋼管道（Tube，SS316L,SS304,或稱電子級(jí)管道、**高純管道、潔凈管道），隔膜閥（Diaphragm Valve）, 減壓閥（Regulator，或稱調(diào)壓閥）,過濾器（filter，0.003μm），fitting（Gland ,Tee …）等等**高純特殊氣體系統(tǒng)中必需采用的各類零部件。同時(shí)，提供危險(xiǎn)氣體的泄漏探測(cè)器（探測(cè)系統(tǒng)）及一般氣體的濃度偵測(cè)等服務(wù)。適合特殊氣體的控制和輸送的設(shè)備。被廣泛應(yīng)用到太陽能電池生產(chǎn)線及微電子領(lǐng)域。
   

公司介紹： 
上海茂竺以**技術(shù)產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)相輔并進(jìn)的快速發(fā)展模式。為半導(dǎo)體、醫(yī)藥及生物芯片等行業(yè)提供廠務(wù)所必需的潔凈材料部件（隔膜閥、EP（BA）管道等）以及特殊氣體設(shè)備[例如特氣柜(GAS CABINET) 、閥門箱（VMB）]，化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)（例如CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX）。
上海茂竺信奉以客戶為中心的服務(wù)理念，提供設(shè)備安裝及二次配管等一系列高純系統(tǒng)的整體解決方案，采用自動(dòng)軌道焊接技術(shù)（即自動(dòng)氬弧焊接 Automatic Weld），具體內(nèi)容覆蓋了從方案設(shè)計(jì)到安裝、測(cè)試等方面。茂竺電子通過控制項(xiàng)目的重復(fù)設(shè)計(jì)和建設(shè)，達(dá)到花費(fèi)項(xiàng)目資金和周期的較小化。
我們主要服務(wù)于以下各行業(yè)：
高亮度發(fā)光二極管外延HB-LED： 主要工藝設(shè)備 MOCVD 光刻機(jī)等
**發(fā)光二極管OLED: PECVD, 濺射臺(tái)，蒸發(fā)臺(tái)OLED臺(tái)，OTFT臺(tái)， 
太陽能電池：主要工藝設(shè)備 PECVD,SPUTTER等
硅外延：外延爐
微機(jī)電系統(tǒng)MEMS：主要工藝設(shè)備RIE，LPCVD，ICP，等離子清洗機(jī)，濺射機(jī)等
醫(yī)藥及生物芯片：
平面及等離子顯示器：
化工：
其他材料薄膜制造設(shè)備：APCVD，LPCVD，MBE，HVPE等。