主動隔振系統(tǒng)AIS的應(yīng)用：
理想的隔振性能，用于存在高動態(tài)力、進行靈敏度測量和檢驗的機器，平版印刷設(shè)備，激光設(shè)備，高分辨電子顯微鏡，以及半導(dǎo)體工業(yè)機械。當(dāng)常規(guī)的帶電控氣動水平調(diào)整系統(tǒng)的空氣彈簧隔振和沉降時間效率不充分時可以使用AIS。
主動隔振系統(tǒng)AIS的設(shè)計：
氣動水平振動隔離裝置 HABTM結(jié)構(gòu)為筒形頂和底外殼。被放置在兩個外殼之間的環(huán)形空間中的空氣管能夠產(chǎn)生水平力，以抵御兩個外殼之間產(chǎn)生的運動。
主動隔振系統(tǒng)AIS的水平力或者固有頻率可以通過改變這些空氣管的空氣壓力進行調(diào)整 。設(shè)計的空氣軸承可以承受垂直承載力， 并在頂部和底部外殼之間提供供無摩擦的水平平滑運動。

主動隔振系統(tǒng)AIS的特點：
1、主動電控氣動隔振提供多個自由度的控制；
2、優(yōu)良的隔振性能，無共振時產(chǎn)生的任何增強現(xiàn)象；
3、垂直和水平兩個平面都有非常出色的水平精度；
4、機器內(nèi)的部件質(zhì)量發(fā)生加速和減振移動后偏差和沉降時間短。沉降時間越短，即等于機器產(chǎn)能越大；
5、有效的實時控制；
6、每個自由度由PLC，CAN總線，一個控制器，一個高速電控氣動伺服閥進行控制；
7、每個控制器由一個微處理器，位置、空氣壓力和加速度集成高分辨率傳感器組成；
8、操作使用方便，用于設(shè)定和優(yōu)化AIS并提供系統(tǒng)診斷的智能化軟件；
9、通過使用數(shù)字式I/O可以簡單的選擇兩種不同的操作模式；
10、不需要從機器的控制器要求給進信號；
11、無由于電磁起動器/電動機而生成的干擾熱量，磁性變化或者高電力消耗現(xiàn)象。

主動隔振系統(tǒng)AIS的16位控制器通過CAN總線連接到PLC。PLC可以通過一個標(biāo)準(zhǔn)的RS-232接口到PC機，用于初始設(shè)定和診斷。PLC的主要功能是管理和16位控制器。并且，PLC還具有信號輸入和傳輸功能，例如：準(zhǔn)備、運動完成、位置、壓力和電力檢查、掃描模式到加載模式的切換、緊急停止等。

主動隔振系統(tǒng)AIS的設(shè)計：
由一個PLC、CAN總線、16位控制器、高速電控氣動伺服閥門和空氣彈簧以及水平空氣彈簧組成。由一系列規(guī)格尺寸可以提供垂直和水平空氣彈簧。每個空氣彈簧或者一組空氣彈簧使用一個16位控制器和一個高速電控氣動伺服閥門。AIS可以至低3組到6組進行運行。16位控制器可以直接安裝到空氣彈簧或者安裝到機器上，安裝方向與隔振裝置運動方向一致。16位控制器內(nèi)有一個微處理器、一個位置傳感器，一個加速度傳感器以及一個空氣壓力傳感器。傳感器的信號以4kHz速率進行采樣。由于每個16位控制器有一個帶開發(fā)的運算法則微處理器并帶有的高動態(tài)氣動伺服閥門。所以，相應(yīng)的結(jié)果是實時控制非常有效，不需要給進信號。
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