光譜共焦測量技術的原理混色光是由眾多不同波長光線組成的，我們稱之為光譜。所有不同波長的可見光重疊在一起，形成白光。人類肉眼可見光的波長范圍從400nm (藍光)到700nm (紅光)。通過透鏡，不同顏色的光不會聚焦到同一個點上。這種現象稱為色差透鏡錯誤或者叫色差透鏡偏差。眾所周知，自然界的日光屬白光一種，白光不是純潔的光，而是許多單色光組成的。光在不同介質中傳播可能會有角度偏差的現象產生，而實際的白光照射下不同介質將有很多單線光的折射。光學材料（透鏡）對于不同單色光的折射率是不同的，也就是折射角度不同波長愈短折射率愈大，波長愈長折射率愈小（這也是不同望遠鏡所謂的色差不同的原因），同一薄透鏡對不同單色光，每一種單色光都有不同的焦距，按色光的波長由短到長，它們的像點離開透鏡由近到遠地排列在光軸上（不同的單色光的波長是不同的）這樣成像就產生了所謂色差透鏡錯誤。色差透鏡錯誤使成像產生或暈環。在攝影器材中，應通過處理，盡量消減色差透鏡錯誤導致的成像問題。常用的消除方法有雙膠合系統與雙分離系統。一面單透鏡的色差造成對不同波長的色光產生了不同的焦距對于消色差雙合透鏡而言，可見光的波長近似具有相等的焦距具有抵消色散屬性的衍射光學器件可以用來矯正色差而光譜共焦測量技術恰恰利用這種物理現象的特點。通過使用透鏡，延長不同顏色光的焦點光暈范圍，形成放大色差，使其根據不同的被測物體到透鏡的距離，會對應一個波長的光聚焦到被測物體上。通過測量反射光的波長，就可以得到被測物體到透鏡的距離。這一過程與攝影器材通過各種方法消減色差的過程正好相反。為了得到上述的色差，需要在傳感器探頭內使用若干透鏡，用來根據所需量程將光線分解。后使用一個凸透鏡，將傳感器探頭射出的光線聚攏在一條軸線上，形成所謂的焦點軸線。如果不使用凸透鏡，傳感器探頭射出的光將分散開來，測量也就無法進行了。白色光通過一個半透鏡面到達凸透鏡。上述色差就在這里產生。光線照射到被測物體后發生反射,透過凸透鏡，返回到傳感器探頭內的半透鏡上。半透鏡將反射光折射到一個穿孔蓋板上，小孔只允許聚焦好的反射光通過。透過穿孔蓋板的光是一組模糊光譜，也就是說若干不同波長的光都有可能穿過小孔照在CCD感光矩陣單元上。但是只有在被測物體上聚焦的反射光擁有足夠光強，在CCD感光矩陣上產生一個明顯的波峰。在穿孔蓋板后面，需要一個分光器測量反射光的顏色信息。分光器類似一個特制光柵，可以根據反射光的波長，增強或減弱折射率。因此，CCD矩陣上的每一個位置，對應一個測量物體到探頭的距離。在整個量程上，共可以得到超過30,000個測量點。這里只計算光線波長，用以產生測量信號。反射光產生的信號波峰振幅并不在信號測量依據之內。也就是說反射光的光強不會影響測量結果。這意味著，無論有多少反射光從被測物體反射回來，測量的距離結果可能是不變的。因為反射光的光強僅僅取決于反射物體的反光程度。因此，采用德國米銥公司的光譜共焦傳感器，即使被測物體是強吸光材料，如黑色橡膠；或者是透明材料，如玻璃或者液體，都可以進行正常可靠的測量。光譜共焦測量技術測量塑料或塑料涂層的厚度聚碳酸酯通常都會被噴上防刮擦或防紫外線涂漆。這些漆膜涂層或材料厚度都可以被非觸碰式的光學傳感器測量。聚碳酸酯是一種經常用于替代玻璃的透明塑料。與易碎的玻璃相比，聚碳酸酯更加輕盈更能防止沖擊。其缺點，如易刮傷和易被紫外線穿透，都能通過涂漆優化。類似幾十微米的聚氨酯丙烯酸酯涂層可以被ERT傳感器測量出。光譜共焦測量技術是非接觸式測量晶片ERT系列傳感器適用于針對晶片和太陽能電池進行非常簡單的高精度的間距測量和層厚度測量。這些光學傳感器僅借助一個測量頭即可對厚度小于 1 mm 的硅片進行非接觸式厚度測量。 的厚度測定（至邊緣區域）對于高的產品質量而言意義重大。ERT通過極小的測量點可以確保測量。 而 ERT系列傳感器所能做到的遠不止于此：測量化鎵晶片、不透明的薄膜和多層系統。 堅固耐用的簡單構造使其可以直接繼承在生產流程中。 該設備當然也適用于實驗室內低成本、高精度的層厚度測量光譜共焦測量技術適用于極高要求的光譜共焦距離測量坐標測量設備和地質測量系統的制造商極其重視性、質量和服務。 的企業決定將我們的傳感器ERT系列與較大通光孔徑的測量頭組合使用，這一點并不足為奇。 其中的一個原因在于這些傳感器可普遍應用于所有表面，具有高精度、高動態性能和高測量速度。

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