三維輪廓儀一方面通過精確設(shè)計干涉濾光片帶寬，兼顧相干長度對短相干光源與干涉條紋對比度的要求，使得干涉條紋的定域區(qū)間得到優(yōu)化；另一方面通過軟件嚴格判定PZT移相起始位置和條紋圖像采樣范圍，使條紋采樣集中在干涉零位左右兩個波長范圍內(nèi)，從而有效解決了對比度變化導(dǎo)致的系統(tǒng)誤差。 (3) 光路系統(tǒng)和機械系統(tǒng)集成優(yōu)化設(shè)計 在通用光學(xué)表面三維形貌檢測儀中，光路系統(tǒng)、干涉測量單元精密位移系統(tǒng)和被測件機械調(diào)整平臺由不同的模塊組成，在空間上相互獨立。這種結(jié)構(gòu)不僅增大了系統(tǒng)的體積，還會減弱系統(tǒng)的穩(wěn)定性。本作品將光路系統(tǒng)嵌入機械系統(tǒng)內(nèi)部，使上述三個分立模塊融為一體，采用光機電算集成化技術(shù)，實現(xiàn)了儀器的高度集成。從而使得儀器的體積減小、穩(wěn)定性增加，有效抑制了振動和氣流等環(huán)境因素的影響。
三維輪廓儀具體研究成果體現(xiàn)在以下幾個方面： (1) 短相干光干涉條紋的定位技術(shù) LED短相干光與激光相比具有較短的干涉波列長度，消除了干涉顯微系統(tǒng)中難以避免的激光散斑干擾，提高了成像質(zhì)量。但干涉波列長度的減短導(dǎo)致獲取干涉條紋遇到困難，要求被測表面的定位精度必須接近1微米。

三維輪廓測量儀/三維表面形貌儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺階高度，給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的、價格合理的計量方案。

技術(shù)參數(shù)：
垂直測量范圍：27mm
垂直分辨率：<2nm
掃描速度：1m/s
橫向分辨率：5nm
可視區(qū)域：400*600mm

三維非接觸式光學(xué)輪廓儀技術(shù)參數(shù)：
垂直測量范圍：27mm
垂直分辨率：<2nm
掃描速度：20mm/s
橫向分辨率：0.1m
測量范圍：150mm×150mm
藍海精密的這款產(chǎn)品憑借其當今世界最前端的技術(shù),迅速占領(lǐng)國內(nèi)外市場,我們致力于為國內(nèi)外的研發(fā)機構(gòu)與工業(yè)用戶提供全套的測試技術(shù)解決方案，功能包括二維分析、三維分析、表面紋理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、體積、角度計算、曲率計算、模擬一維分析、數(shù)據(jù)輸出、數(shù)據(jù)自動動態(tài)存儲、自定義數(shù)：
1 采用白光軸向色像差技術(shù)，可獲得納米級的分辨率
2 測量具有非破壞性，測量速度快，精確度高
3 測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；
4 尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面
5 不受樣品反射率的影響
6 不受環(huán)境光的影響
7 測量簡單，樣品無需特殊處理
8 Z方向最大測量范圍為24mm

三維輪廓儀在優(yōu)化光路結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上，采用高精度的調(diào)整平臺來解決這一問題，其調(diào)節(jié)精度達到亞微米量級，有效調(diào)節(jié)被測件的三維傾斜和軸向位移，為干涉成像提供保證。 (2) 干涉條紋定域區(qū)間優(yōu)選和移相精度校準 由于干涉波列長度的減小，不僅使成像面干涉條紋數(shù)減少，還使干涉條紋對比度隨光程差增大而迅速衰減，這就給從干涉條紋變化中解調(diào)相位信息帶來了困難。

三維輪廓儀的主要研究內(nèi)容及成果包括：使用短相干LED干涉成像技術(shù)，提高成像質(zhì)量；依據(jù)干涉條紋對比度變化選定采樣區(qū)間，減小了系統(tǒng)誤差；優(yōu)化了光機系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和電路控制，提高了系統(tǒng)的便攜性和穩(wěn)定性；使用背測式結(jié)構(gòu)，載物臺位于物鏡和被測面之間，從而對被測面口徑無尺寸限制；使用了重疊平均移相干涉測量技術(shù)，將干涉測量精度提高到亞納米量級；開發(fā)了一套集PZT移相、CCD采集和面形計算分析于一體的軟件，將檢測時間壓縮到10秒鐘以內(nèi)。

-/gjdccg/-

東莞市藍海精密檢測設(shè)備科技有限公司專業(yè)從事工業(yè)自動化生產(chǎn)線上高精密檢測設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)及產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈建設(shè)維護等業(yè)務(wù)。在勞動力日益緊張的今天，我們?yōu)槠髽I(yè)實現(xiàn)機器換人提供專業(yè)集成解決方案。 強大的工業(yè)制造依賴于三個領(lǐng)域：一是新型材料；二是精密制造；三是精密檢測。中國制造2025目標的實現(xiàn)離不開精密檢測產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，我們致力于成為中國先進的精密光學(xué)檢測解決方案集成商，推動中國精密光學(xué)檢測行業(yè)向更高更精密方向發(fā)展。白光同軸光譜共焦技術(shù)，將精密光學(xué)的在線檢測精度帶入納米級領(lǐng)域，以滿足高精度、高標準、高效率的現(xiàn)代化科技需求，促進工業(yè)多領(lǐng)域產(chǎn)品的迭代和改革。我們堅持以市場為導(dǎo)向，技術(shù)服務(wù)為保障，發(fā)現(xiàn)并解決顧客痛點，以標準產(chǎn)品和個性化聯(lián)合研發(fā)定制解決方案相結(jié)合的產(chǎn)品組合滿足不同領(lǐng)域的客戶需求。 藍海人堅持“專注協(xié)作，知行合一”的經(jīng)營理念，與中國制造一同揚帆遠航，屹立于世界制造之林。 藍海精密目前提供2D輪廓分析儀、3D輪廓檢測儀、粗糙度分析儀、中板高度段差檢測機、陽極膜厚度檢測機、曲面蓋板玻璃平整度及弧度檢測機、多層鏡頭厚度檢測機、防水層厚度檢測機、后蓋板平整度及內(nèi)腔高度檢測機、手機精密五金件檢測機等多種設(shè)備